光栅尺
万濠光栅尺
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光栅尺为透射式幅值光栅,其原理为主,副光栅相对位移时,产生莫耳条纹变化,此变化将由精密光电转换器件，转换为电讯号，然后经讯号处理电路处理后，输出相应位移量的数字讯号